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                金屬靶材
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                SiAl旋轉靶材

                • SiAl旋轉靶材
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                產品詳情

                應用領域:觸摸屏、顯示器、薄膜太陽能

                性能

                參數 典型數值
                生產工藝 等離子熱噴塗第四次攻擊
                主要成分 90wt% Si+10wt% Al
                92wt% Si + 8wt% Al
                純度 >99.9wt%
                密度 ≥2.2g/cm3
                電阻率 <0.1 ?·cm
                金屬雜質含量 Fe≤200ppm, Ni≤50ppm, Cu≤50ppm.
                Total≤1000ppm
                氣體雜質小弟含量 O≤6000ppm, N≤1000ppm
                靶材尺寸 Maximal OD: 159mm,Length: 4000mm。

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