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                金屬靶材
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                Si旋轉靶材

                • Si旋轉靶材
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                產品詳情

                應用領域:觸摸屏、顯示器、薄膜太陽擲地有聲說道能

                性能

                參數 典型數值
                生產工藝 等離∴子熱噴塗
                主要成分 Si
                純度 >99.99wt%
                密度 ≥2.2g/cm3
                電阻率 <40 ?·cm
                金屬√雜質含量 Fe≤100ppm, Cu≤10ppm, Al≤20ppm.
                Total≤100ppm
                氣體雜質含量 O≤2500ppm, N≤500ppm
                靶材尺寸 Maximal OD: 151mm,Length: 4000mm。

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