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金屬靶材

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Si旋轉靶材

發布時間：2017-10-17

產品詳情

應用領域：觸摸屏、顯示器、薄膜太陽擲地有聲說道能

性能

參數	典型數值
生產工藝	等離∴子熱噴塗
主要成分	Si
純度	>99.99wt%
密度	≥2.2g/cm³
電阻率	<40 ?·cm
金屬√雜質含量	Fe≤100ppm, Cu≤10ppm, Al≤20ppm. Total≤100ppm
氣體雜質含量	O≤2500ppm, N≤500ppm
靶材尺寸	Maximal OD: 151mm，Length: 4000mm。

Si旋轉靶材

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