應用領域：節能玻璃、智能玻璃、薄膜太∞陽能電池
性能
| 參數 | 典型數值 |
| 生產工藝 | 粉末冶金方法成型，多個靶管/靶塊拼接№貼合為AZO靶材成品。 |
| 主要成分 | 98wt%ZnO + 2wt%Al2O3 (註：根據客戶的需求萬節帶來，可提供Al2O3摻雜量在0.06~3wt%的AZO靶材) |
| 純度 | >99.95wt% |
| 密度 | >5.52 g/cm3 |
| 電阻率 | ≤ 3×10-3 ?·cm |
| 金屬雜質含量 | Fe ≤50ppm, Si ≤80ppm, Na ≤20ppm, Pb ≤30ppm, others ≤50ppm. Total ≤500ppm |
| 靶材尺寸 | 平面靶 (50~300mm)L×(50~250mm)W×(4~15mm)H 旋轉靶 (133~138mm)ID×(151~169mm)OD×(150~260mm)H |
| 綁定焊接率 | >95% |
| 產品特點：高致密度；濺射表面光滑；含氧量充●足，無需通氧濺射 | |
