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                陶瓷靶材
                首頁 陶瓷靶材

                AZO靶材

                • AZO靶材
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                產品詳情

                應用領域:節能玻璃、智能玻璃、薄膜太∞陽能電池

                性能

                參數 典型數值
                生產工藝 粉末冶金方法成型,多個靶管/靶塊拼接№貼合為AZO靶材成品。
                主要成分 98wt%ZnO + 2wt%Al2O3 (註:根據客戶的需求萬節帶來,可提供Al2O3摻雜量在0.06~3wt%的AZO靶材)
                純度 >99.95wt%
                密度 >5.52 g/cm3
                電阻率 ≤ 3×10-3 ?·cm
                金屬雜質含量 Fe ≤50ppm, Si ≤80ppm, Na ≤20ppm, Pb ≤30ppm, others ≤50ppm.
                Total ≤500ppm
                靶材尺寸 平面靶
                (50~300mm)L×(50~250mm)W×(4~15mm)H
                旋轉靶
                (133~138mm)ID×(151~169mm)OD×(150~260mm)H
                綁定焊接率 >95%
                產品特點:高致密度;濺射表面光滑;含氧量充●足,無需通氧濺射

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